具有裸眼立体后果的及时不雅察电子显微镜

日本科学技巧振兴机构（JST）2012年4月26日宣告，由日立高科及艺卓、新潟 学、静冈 学等构成的开辟团队，开辟出了可以或许及时立体（3D）不雅察的扫描电子显微镜（SEM），以及可以裸眼不雅看的高分辩率3D显示器。由此，不仅可对不雅察物做结构剖析，还有望运用于应用机械手的渺小物体剖解和获取无机资料的电特征等。

边切换电子束的偏向边扫描

SEM是在向不雅察对象照耀很细电子束的同时进行二维扫描，来不雅察其外面的立体结构（凹凸外形）。一般来说，用SEM获得的图像（SEM图像）为单向不雅察的图像，是以图像是与单眼不雅察一样的平面图像。为了获得立体的SEM图像，曩昔采取的办法是经由过程倾斜载物台，从分歧的角度分离取得相当于用右眼不雅察和左眼不雅察的静止图像（视差图像）并加以合成，所以须要戴上红蓝眼镜不雅察。但这种办法须要消耗时光，还须要调剂视差图像，是以无法及时不雅察试样的SEM图像。

此次，开辟出了可边切换照耀试样的电子束角度边高速扫描的技巧，胜利实现了阁下视差图像的瞬时获取。具体做法为应用电磁透镜的会聚感化，使电子束产生倾斜。然则，电子束倾斜随同的像差会导致分辩率降低。针对这一课题，开辟组开辟出专用的电子光学体系和电子束扫描掌握技巧，并应用了个中的部门技巧。

电子束倾斜偏向的掌握应用专用的电磁线圈，以1行、1帧为单元，对试样依次进行左倾斜扫描、尺度扫描和右倾斜扫描。由此可以支撑速度为33ms/帧的高速扫描，从而可进行及时3D不雅察。阁下的视差图像因应用了透镜的会聚感化，固然核心和像散分歧于通俗的SEM图像，但支撑对核心和像散以1行/1帧为单元进行调剂。

经由过程数据处置实现3种输出方法

取得阁下视差图像后，用此次开辟的专用软件进行数据处置，可以实现3种输出方法：（1）除了支撑在23英寸全高清（1920×1080像素）高清显示的高分辩率3D裸眼显示器“DuraVisionFDF2301-3D”上把阁下视差图像作为2个自力影像旌旗灯号传输的“双路输入方法”之外，还有（2）把阁下视差图像沿程度偏向分离紧缩为1/2，将其组合成1幅图像输出的“并行方法”，以及（3）把左视差图像转换成红色、右视差图像转换成蓝色旌旗灯号合成输出的“红蓝方法”。

支撑裸眼的高分辩率立体显示由指向光源（DirectionalBacklight）方法实现。一般支撑裸眼3D显示器的显示方法是把液晶面板的像素分派给阁下视差图像，是以，程度偏向的分辩率会下降到一半，但DirectionalBacklight方法则是用统一像素将视差图像以时光差方法显示。因为无需为阁下视差图像分派液晶面板的像素，所以与传统技巧比拟，纵深偏向的再现性。

而且，不雅察者阁下眼不雅看到的视差图像的偏向取决于液晶显示器的光源（LED），不会涌现其他裸眼3D方法存在的樊篱和透镜造成的叠栅和条纹等问题。道理上不存在阁下视差图像瓜代涌现的“逆视”地位，直到画面四周都能稳固不雅察高清3D图像。

还开辟出了3D不雅察专用的图形界面（GUI）。因为可以或许同时分离显示阁下的视差图像、平日的SEM图像，以及由阁下视差图像合成的立体图像共四个画面，所以用户可以在比对正常的SEM图像的同时，调剂阁下视差图像的核心和像散。

本开辟结果还预定作为日立高科SEM的选配功效，在2012财年推出产物。