显微镜 家用我国每年花费超过1亿美元购买SEM,仅
作者: 发布时间:2022-07-02 17:50:58点击:696
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扫描电子显微镜(SEM)是一种高端的电子光学仪器,广泛应用于材料、生物学、医学、冶金、化学和半导体等领域的研究和工业部门。
例如,在材料科学领域,它是一个非常基础的研究仪器。可以毫不夸张地说,材料领域的70%-80%的文章使用SEM提供的信息。曾毅,中国科学院上海硅酸盐研究所的研究员,扫描电子显微镜专业委员会副主任,告诉本刊CH日报。
然而,中国科研和工业部门使用的扫描电子显微镜(SEM)严重依赖进口。在中国每年购买的数百种SEM中,成本超过1亿美元,它们主要产于美国、日本、德国和捷克共和国,国内的SEM只占5%-10%。
曾毅说,扫描电子显微镜的图像分辨率与电子束的直径密切相关。电子束越薄,图像分辨率越高。
扫描电子显微镜(SEM)主要利用二次电子信号成像来观察样品的表面形貌,即用非常细的电子束扫描样品的表面,通过t之间的相互作用产生各种信号(如二次电子信号)。电子束和样品获得材料表面的细节。
扫描电子显微镜(SEM)由电子光学系统、信号采集显示系统、真空系统和电源系统组成,电子光学系统由电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室组成。电子枪发出的电子束通过电磁透镜会聚成非常细的电子束,扫描在样品表面,刺激样品表面产生二次电子。光信号。
两个电子产生的电子数与样品表面形貌有关,如果样品不同区域激发的二次电子数不同,则光电倍增管与放大器转换的电压信号对应关系不同。主动地荧光屏的对应部分之间的光和暗的对比差异也将反映出来。最后,得到样品表面的放大黑白图像。
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