显微镜的反光镜中国每年从欧洲和美国进口基础
作者: 发布时间:2022-07-02 17:44:33点击:512
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中国国有科技媒体披露,由于国内设备的技术和能力落后,中国每年进口扫描电子显微镜的成本超过1亿美元,国内设备的份额不到10%。
7月3日,北京时间,《中国科学技术日报》急需攻克核心技术栏目报道,材料微观结构观察离不开显微照相机——扫描电子显微镜。
扫描电子显微镜(SEM)是一种高端的电子光学仪器,广泛应用于材料、生物学、医学、冶金、化学和半导体等研究领域和工业部门。
曾毅,中国电子显微镜领域的专家,说扫描电子显微镜是一个非常基本的科学仪器。毫不夸张地说,材料科学领域的70%至80%的研究使用扫描电子显微镜提供的信息。
然而,目前中国科研和工业部门使用的扫描电子显微镜(SEM)严重依赖进口。在中国每年花费超过一亿美元的数以百计的SEM中,它们主要在美国、日本、德国和捷克共和国生产,而中国制造的SEM只有大约5%到10%。
曾毅介绍说,我国扫描电子显微镜发展面临的瓶颈包括高质量电子光学系统生产困难、透镜探测器设计困难、低压分辨率急需突破等。
扫描电子显微镜(SEM)图像分辨率与电子束的直径密切相关。电子束越细,图像分辨率越高。目前,电子光学系统需要将电子束聚焦到一纳米左右,这是一个难以解决的问题。
扫描电子显微镜(SEM)的图像分辨率与工作距离密切相关。长距离将导致图像分辨率的降低,而近距离可以提高图像分辨率。
据报道,目前主流的场发射扫描电子显微镜(FESEM)使用半浸没或完全浸没的电磁透镜,即检测器安装在电磁透镜的上方或内部。
场发射扫描电子显微镜(FESEM)可以用来收集二次电子,尽管样品和透镜之间的距离越近,检测器和样品之间的距离越长。
曾毅说,目前仅通过在探测器前端加正电压来吸引二次电子的方法是不可行的。二次电子需要通过磁力被吸收到电磁透镜中。
场发射扫描电子显微镜(FESEM)能有效地利用磁力将二次电子吸收到电磁透镜中。中国需要在提高采购效率方面取得突破。
据报道,主流场发射扫描电子显微镜(FESEM)的低电压分辨率(0.7~1nm@1kV)已经很好地满足了非导电样品的表征要求。
利用国产场发射扫描电子显微镜(FESEM)研制了分辨率为3nm、1kV的新型扫描电子显微镜(SEM)。
为了在低电压下观察样品而不降低图像分辨率,通常的解决方法是施加减速电压、在镜管中减速或单色器技术。
曾毅介绍,目前我国国内扫描电子显微镜的市场占有率小,技术指标与主流电子显微镜存在一定差距,但与国际主流产品相比,C.Hina的国产设备和主流产品。
这位专家认为,有关部门应该加大对中国自主科研设备研发的投入,加上政策的指导,在这样的前提下,中国国内的扫描电子显微镜将有更好的发展和应用前景。
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