光学显微镜原理电子显微镜的分辨率创造了一个
作者: 发布时间:2022-07-02 17:39:59点击:944
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照片:两张二硫化钼(MoS2)的照片,一张旋转6.8度。每个原子之间的间距从原子键的长度到完全重叠不等。来源:康奈尔大学。
7月19日,康奈尔大学应用和工程物理学教授戴维·穆勒、约翰·L·韦瑟里尔和物理学教授索尔·格鲁纳和维特·埃尔泽在《自然》杂志上发表了一篇题为二维材料电子印刷术到深亚表面分辨率的文章。报道称,研究人员利用电子显微镜(电子显微镜)像素阵列探测器(EMPAD)实现了0.39的分辨率,创造了一项新的世界纪录。
虽然电子显微镜可以观察到一个原子,但即使在这个分辨率下它也看不清楚任何东西。电子显微镜透镜有一个称为像差的固有缺陷,为此,研制了像差校正器。正如Muller所说,它就像一个显微镜眼镜,为了校正多个像差,需要一个扩展的校准元件收集器,它像在眼镜上放眼镜一样笨拙。Muller和其他工作成功地解决了这个问题。
电子的波长远小于可见光的波长,但是电子显微镜透镜没有相应的分辨率。分辨率在很大程度上取决于透镜的数值孔径。数值孔径是F数的倒数:F麻木越小。提高电子显微镜分辨率的传统方法是增加电子束的数值孔径和能量。过去,分辨率记录是通过像差校正透镜和超高束能量-300千电子获得的。伏特(keV)---以获得亚AE(,ngstrm)分辨率。原子键的长度通常在1-2之间,而AI的分辨率允许人们容易地观察单个原子。
研究小组使用EMPAD和PT光刻技术来提高电子显微镜的分辨率:当电子束扫描样品时,探测器收集重叠步骤中散射电子的全部位置和动量分布,然后从r重建图像。最终,获得了0.39的分辨率。为了保证样品的结构完整性,他们使用了较低的光束能量(80keV),在这种情况下,仅用像差校正透镜就可以获得0.98的分辨率。可以检测样品中的硫原子。
因为分辨率小于最小的原子键,我们需要为EMPAD方法提供一个新的测试对象,所以他们叠加了两个MoS2图片,一个稍微歪斜,使得两个原子之间的距离从完整的原子键的长度到重叠的长度都有所不同。
康奈尔大学的电子显微镜已经用EMPAD进行了修改,以记录各种强度,从单个电子到包含几百甚至一百万电子的强光束。
资料来源:http://PHY.org/News /2018-07电子显微镜-Debug -Primest.HTML
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