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作者: 发布时间:2022-07-02 18:01:49点击:312
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左至右:天美公司副总裁赵薇,日立高新技巧公司中国是业团体先端剖析仪器部部长Imada Yoshinori,日立高新电子显微镜全球运用工程师振木昌成
扫描电镜是应用电子束“照耀”样品外面,经由过程发生的二次电子旌旗灯号成像来不雅察样品的外面形态。依据电子枪发生电子束的机理分歧,扫描电镜重要有场发射、钨灯丝;此次推出的新品SU3500属于运用最普遍、应用最经济的钨灯丝扫描电镜。扫描电镜在低加快电压下工作具有削减或清除样品的荷电效应、加强样品的外面衬度和成分衬度以及削减样品辐照毁伤等长处;是以,进步电子显微镜在低加快电压和低真空下的分辩率是扫描电镜的研讨热门。
低加快电压下实现高分辩。平日加快电压下降,灯丝的发射电流会按比例削减,图像的亮度也会正常衰减。SU3500采取了最新开辟的主动多级电子枪偏压设计,可以或许在特定的加快电压前提下,实现高的发射电流。与日立S-3400比拟,SU3500的信噪比加强,成像质量加倍优胜。在加快电压为3kV 时,二次电子图像分辩率可达7nm;在加快电压为5kV时,电子背散射图像的分辩率可达10nm。
低真空下实现不导电样品的直接不雅察。新设计的SU3500真空法式使真空度可到达650Pa,及时真空反馈许可在用户设定的特定压力下,坚持样品室快速的真空稳固性。SU3500可变压力模式许可对处于天然状况下的潮湿、油腻和非导电样品进行不雅察;电子束与空气分子相撞发生的正电荷可清除样品外面的过剩电荷,是以不须要进行传统的样品前处置,如干燥和镀膜。
SU3500的操作软件也有多项改良,使科研人员的工作效力 幅进步。例如:多模式多用处不雅察显示功效可以经由过程菜单操作选择单幅图像、双幅图像、四幅图像以及全屏图像显示;双幅图像及四幅图像显示模式可以同时显示由两种分歧的探测器不雅察到的图像,或者为了多用处不雅察而合成图像。旌旗灯号混杂功效可以将富有样品外面细微构造信息的二次电子像和富有丰硕成分信息的背散射电子像在一幅画里面叠加显示,更易于评价与剖析。
低电压、低真空下获得极高的分辩率是SU3500最 亮点。天美公司副总裁赵薇表现,SU3500扫描电镜在加快电压为3kV时,二次电子图像分辩率达7nm;先辈的3D技巧以及异常方便的可视化操作,使SU3500成为今朝全球更高端的钨灯丝扫描电镜。
专家现场体验SU3500新型扫描电镜功效
SU3500新型扫描电镜
起源:仪器信息网
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