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系统与成像系统位于真空柱中
一般情况下对于成像系统来说则主要是位于真空柱中
，而同时电子束系统则是由电子枪与电子磁透镜两个
部分组成的。
而这就是说成像系统主要是一个使用于电子能量与分
布的电子束，而对于电子枪来说则就会产生电子。
在这种情况下电磁透镜通常包含了汇聚透镜与物镜 ，
而汇聚物镜则主在于电子枪下面，而这则主要用于把
电子枪所发射出的电子汇聚成光束。
而这里所说的物镜则主要位于真空柱的最下面，主要
是负责将电子光束的焦点汇聚于样品标本表面，成像
系统则是由各种电子探测器组成的。
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